계산전자공학 입문 (반도체 공정) | Wooyeon.

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계산전자공학 입문 (반도체 공정)

홍성민 (지은이)저/역GIST PRESS(광주과학기술원)2025년 3월 31일

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ISBN: K962038072

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설명

도서명계산전자공학 입문 (반도체 공정)

지음/옮김홍성민 (지은이)

주제 분류국내도서>대학교재/전문서적>공학계열>전기전자공학>반도체공학

책소개반도체 소자를 제조하는 과정에서 필요한 중요한 공정들에 대한 시뮬레이션 기법들을 설명하며 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정의 기본 원리들을 소개하고 이들을 컴퓨터 시뮬레이션으로 다루는 책이다. 아울러 박막 증착 공정과 식각 공정을 위한 공정 에뮬레이션을 간단히 소개한다.

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