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반도체 제조장비기술

김현후 (지은이)저/내하출판사2024년 2월 20일
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690
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ISBN
8957175660
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설명

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  • 도서명반도체 제조장비기술
  • 지음/옮김김현후 (지은이)
  • 주제 분류국내도서>대학교재/전문서적>공학계열>전기전자공학>전기설비
  • 책소개반도체 제조 과정의 기초와 전반적인 흐름에 대한 이해를 제공하며, 실리콘 웨이퍼, 산화, 포토, 식각, 중착, 이온주입, 금속배선, 패키지 및 검사 등의 주요 공정과 각 공정에서 다루는 장비의 기본 구조를 다룬다.

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