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반도체 CMOS 제조기술

김상용,이병철 (지은이)저/역일진사2016년 6월 30일

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ISBN: 8942914926

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설명

도서명반도체 CMOS 제조기술

지음/옮김김상용, 이병철 (지은이)

주제 분류국내도서>대학교재/전문서적>공학계열>전기전자공학>반도체공학

책소개CMOS 제조공정기술을 기준으로 MOSFET 제작 구조, 웨이퍼 종류와 특성, 소자의 제작공정을 기술하였다. 단위공정의 최적화를 위해 요구되는 사진, 식각, 확산, 평탄화, 세정, 이온 주입, 박막 공정들의 특성과 기본 공정기술 내용으로 구성하였다.

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